晶棒加工能力：

加工方式 直径 长度 外圆公差 表面质量 直线度
精磨 ≥0.70mm ≤254.0mm 0.0025mm 粗糙度<0.1um <0.0025mm/25.4mm
抛光 ≥0.60mm ≤89.0mm 0.01mm 60/40 <0.005mm/25.4mm

                  



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2002.6